Regulador líquido LVC 414 del vaporizador del vapor del ASM LVC414

Regulador líquido LVC 414 del vaporizador del vapor del ASM LVC414

Detalles del producto

El regulador electrónico LVC-414 del vaporizador se ha diseñado para medir y para controlar exactamente

el flujo total (gramos/minuto) de los materiales de doping variando el flujo de gas portador con a

pelele que contiene el material de origen.

Los materiales de origen incluyen SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 y BBr3. El otro material de doping puede

también sea controlado, a condición de que se vaporizan con la concentración adecuada para exacto

ratiodetection. Los gas portadores incluyen H2, lo, el N2, el O2 y a AR.

Se proporcionan tres salidas:

Fuente (0 a +5VDC).

Portador (0 a +5VDC)

Ratio (0 a +5VDC).

Estas salidas se pueden supervisar con cualquier voltímetro de la C.C. de 5 voltios con una sensibilidad de 1000

ohmios/voltio o más. Una válvula incorporada varía el flujo total del portador para controlar la fuente

gramo/Min. seleccionado por un voltaje del control externo.

Un solo pequeño paquete contiene la sección del flujómetro, detector del ratio, válvula de control y

electrónica

ESPECIFICACIONES

FLUJO MÍNIMO DEL GAS PORTADOR: el 5% del máximo

FLUJO MÁXIMO DE LA FUENTE: Hasta 40 gramos/completo mínimo

GAMA DE PRESIÓN DE FUNCIONAMIENTO: 10-40 diferencial de la PSI

PRESIÓN DE GAS MÁXIMA: 60 psig

GAS Y GAMA DE TEMPERATURAS AMBIENTE: 60-90°F (15-35°C) hasta 43°C en la petición especial

RESPUESTA: 10 segundos al dentro 4% de setpoint

GAS PORTADORES: Hidrógeno, helio, nitrógeno, oxígeno o argón, gas mezclado

REPETIBILIDAD: ± 0,5% de completo

SENSIBILIDAD DE LA PRESIÓN: ± 0,25% de completo para las presiones de 10 a 40 psid

EXACTITUD Y LINEARIDADES: ± 4,0% del rango de operación entero excesivo completo

AJUSTE DEL COMANDO: 0,1 a 5 VDC

INDICACIÓN DE LA SALIDA:

1. FUENTE: 0.1-5 VDC linear de proporcional al flujo total del líquido vaporizado

2. PORTADOR: 0.1-5 VDC linear de proporcional al flujo total del gas portador

3. RATIO: 0.1-5 VDC linear de proporcional al ratio del flujo del vapor (SCCM) al flujo del portador

(SCCM) escalado con 5 VDC el = 50%

IMPEDANCIA DE SALIDA: 10 ohmios de máximo

ONDULACIÓN: 50 milivoltio p-p máximos

Éntrenos en contacto con

miya@mvme.cn (tecleo)

Correo electrónico: miya@mvme.cn

QQ: 2851195450

Teléfono: 86-18020776792

Skype: miyazheng52