módulo del Plc del tablero del ASM de 64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C

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Detalles del producto

Los materiales de origen incluyen SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 y BBr3. El otro material de doping puede

también sea controlado, a condición de que se vaporizan con la concentración adecuada para exacto

ratiodetection. Los gas portadores incluyen H2, lo, el N2, el O2 y a AR.

Se proporcionan tres salidas: Fuente (0 a +5VDC); Portador (0 a +5VDC); Ratio (0 a +5VDC).

Estas salidas se pueden supervisar con cualquier voltímetro de la C.C. de 5 voltios con una sensibilidad de 1000

ohmios/voltio o más. Una válvula incorporada varía el flujo total del portador para controlar la fuente

gramo/Min. seleccionado por un voltaje del control externo.

Un solo pequeño paquete contiene la sección del flujómetro, detector del ratio, válvula de control y

electrónica.

COMANDO QUE FIJA 0,1 a 5 VDC

INDICACIÓN DE LA SALIDA

1. FUENTE: 0.1-5 VDC linear de proporcional al flujo total del líquido vaporizado

2. PORTADOR: 0.1-5 VDC linear de proporcional al flujo total del gas portador
3. RATIO: 0.1-5 VDC linear de proporcional al ratio del flujo del vapor (SCCM) al flujo del portador (SCCM) escalado con 5 VDC el = 50%

Observe que cuando no hay (es decir ningún control) Ratio=0 que burbujean y el portador alcanzará el valor mayor que 5vdc (típicamente 5,6 voltios).

IMPEDANCIA DE SALIDA: 10 ohmios de máximo

ONDULACIÓN: 50 milivoltio p-p máximos

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